国产 巨乳 奔朗新材获取发明专利授权:“一种低界面热阻金刚石基晶圆突出低温键合举止”
2025-03-31
证券之星音尘,凭据天眼查APP数据暴露奔朗新材(836807)新获取一项发明专利授权,专利名为“一种低界面热阻金刚石基晶圆突出低温键合举止”,专利央求号为CN202210482785.5,授权日为2025年1月10日。 色吧777 专利摘抄:本发明提供一种低界面热阻金刚石基晶圆突出低温键合举止,属于金刚石和氮化镓键合工夫界限;举止包括:S1、在金刚石和半导体晶圆上区别通过等离子体刻蚀惩办进行名义活...